2022 年6 月國(guó)內(nèi)主流晶圓廠共開(kāi)標(biāo)68 臺(tái)工藝設(shè)備概念股，上海積塔為擴(kuò)產(chǎn)主力。我們以長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、中車(chē)時(shí)代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國(guó)大陸主要的IDM 或代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過(guò)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)對(duì)上述晶圓廠中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2022 年6 月國(guó)內(nèi)10 家主流晶圓廠共開(kāi)標(biāo)68 臺(tái)工藝設(shè)備，主要來(lái)自上海積塔（52 臺(tái)）、華虹無(wú)錫（11臺(tái)）、福建晉華概念股（3 臺(tái)）、華力集成（1 臺(tái)）。22 年1-6 月合計(jì)開(kāi)標(biāo)548 臺(tái)工藝設(shè)備，主要來(lái)自華虹無(wú)錫（291 臺(tái)）、上海積塔（210 臺(tái)）、時(shí)代電氣（16 臺(tái)）、福建晉華（23 臺(tái)）、華力集成（6 臺(tái)）、華力微電子（2 臺(tái)）。

 

    干法去膠機(jī)、后道測(cè)試、清洗設(shè)備為2022 年6 月國(guó)內(nèi)晶圓廠主要開(kāi)標(biāo)設(shè)備。2022年6 月開(kāi)標(biāo)的68 臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備龍頭股開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為干法去膠機(jī)（14 臺(tái)）、清洗設(shè)備（13 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（11 臺(tái)）、離子注入機(jī)（9臺(tái)）、沉積設(shè)備（8 臺(tái)）、刻蝕設(shè)備概念股（8 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（2 臺(tái)）、爐管設(shè)備（2 臺(tái)）、拋光設(shè)備（1 臺(tái)）。2022 年1-6 月開(kāi)標(biāo)的548 臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別爐管設(shè)備（119 臺(tái)）、沉積設(shè)備（97 臺(tái)）、刻蝕設(shè)備（82 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（64 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（46 臺(tái)）、清洗設(shè)備（33臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（31 臺(tái)）、離子注入機(jī)（28 臺(tái)）拋光設(shè)備（21 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（17 臺(tái)）、光刻機(jī)（10 臺(tái)）。

 

    受?chē)?guó)內(nèi)刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備廠家拉動(dòng)，中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率持續(xù)提升。2022年6 月中國(guó)大陸設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為44 臺(tái)，國(guó)產(chǎn)率達(dá)64.7%。2022 年1-6 月開(kāi)標(biāo)的548 臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì)189 臺(tái)，占比達(dá)34.5%。分晶圓廠看，2022 年1-6 月，上海積塔設(shè)備國(guó)產(chǎn)率超50%；分設(shè)備看，2022 年1-6 月國(guó)產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國(guó)產(chǎn)率81%）、刻蝕設(shè)備（54%）、拋光設(shè)備（43%）、清洗設(shè)備（58%）、涂膠顯影設(shè)備概念股（35%）。聚焦6 月份國(guó)內(nèi)中標(biāo)廠商，稷以科技（12 臺(tái)）、捷佳偉創(chuàng)（中標(biāo)11 臺(tái)）、中微公司（7 臺(tái)）排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國(guó)內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)的強(qiáng)勢(shì)地位。

 

    投資建議：重點(diǎn)關(guān)注國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)（002371）；高端刻蝕設(shè)備龍頭中微公司（688012）；持續(xù)突破高端后道測(cè)試機(jī)的長(zhǎng)川科技（300604）、華峰測(cè)控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環(huán)節(jié)的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備小巨人芯源微（688037）；半導(dǎo)體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備龍頭股領(lǐng)軍企業(yè)盛美上海（688082）、至純科技（603690）；離子注入機(jī)領(lǐng)先企業(yè)萬(wàn)業(yè)企業(yè)（600641）；半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)盛劍環(huán)境（603324）等。

 

    風(fēng)險(xiǎn)提示：晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期、設(shè)備公司研發(fā)不及預(yù)期、中美貿(mào)易龍頭股摩擦風(fēng)險(xiǎn)

 

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